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一種金剛石涂層刀具生長裝置的制作方法

文檔序號:12430851閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種金剛石涂層刀具生長裝置,包括真空室(8)、升降基片臺(2)和熱絲裝置(6),其特征是:在真空室(8)內設有立式放置的升降基片臺(2),在升降基片臺(2)的一側設有與升降基片臺(2)并排設置的熱絲裝置(6),在熱絲裝置(6)的兩端分別設有水冷電極(3),在升降基片臺(2)的另一側中部設有磁流體(7),在真空室(8)內分別設有進氣系統(4)和抽氣系統(5)。

2.根據權利要求1所述的金剛石涂層刀具生長裝置,其特征是:所述抽氣系統(5)的外端與真空泵連接。

3.根據權利要求1所述的金剛石涂層刀具生長裝置,其特征是:在真空室(8)的一側設有前開門(1)。

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