技術(shù)總結(jié)
一種金剛石涂層刀具生長(zhǎng)裝置，涉及一種刀具生長(zhǎng)裝置，包括真空室（8）、升降基片臺(tái)（2）和熱絲裝置（6），在真空室（8）內(nèi)設(shè)有立式放置的升降基片臺(tái)（2），在升降基片臺(tái)（2）的一側(cè)設(shè)有與升降基片臺(tái)（2）并排設(shè)置的熱絲裝置（6），在熱絲裝置（6）的兩端分別設(shè)有水冷電極（3），在升降基片臺(tái)（2）的另一側(cè)中部設(shè)有磁流體（7），在真空室（8）內(nèi)分別設(shè)有進(jìn)氣系統(tǒng)（4）和抽氣系統(tǒng)（5）；本實(shí)用新型通過(guò)設(shè)置立式放置的升降基片臺(tái)與熱絲裝置，并通過(guò)升降基片臺(tái)安裝基片及調(diào)節(jié)基片與熱絲裝置之間的距離，達(dá)到了鉭絲不下垂、沉積面積大、長(zhǎng)時(shí)間均勻沉積的目的。

技術(shù)研發(fā)人員：鄒楊;孫蕾;楊宜珍;鄒松東;孫凌
受保護(hù)的技術(shù)使用者：洛陽(yáng)奧爾材料科技有限公司
文檔號(hào)碼：201620783945
技術(shù)研發(fā)日：2016.07.25
技術(shù)公布日：2016.12.14