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一種硅片邊緣硅落磨削裝置的制作方法

文檔序號:12168191閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種硅片邊緣硅落磨削裝置,其特征在于,包含下方的動力空間和上方的旋轉空間,所述動力空間包含動力傳動結構,旋轉空間包含旋轉平臺,旋轉平臺上包含硅片夾持器,動力傳動結構包含電機及減速器,動力傳動結構的動力輸出軸為承載臺主軸,承載臺主軸上方為旋轉平臺。

2.如權利要求1所述的一種硅片邊緣硅落磨削裝置,其特征在于,動力空間邊側還包含砂漿提供結構,所述砂漿提供結構包含砂漿罐以及砂漿泵。

3.如權利要求1所述的一種硅片邊緣硅落磨削裝置,其特征在于,所述傳動結構包含皮帶和皮帶輪,通過皮帶輪和皮帶能帶動承載臺主軸轉動。

4.如權利要求1所述的一種硅片邊緣硅落磨削裝置,其特征在于,所述旋轉空間包含可開啟的玻璃門。

5.如權利要求1所述的一種硅片邊緣硅落磨削裝置,其特征在于,所述硅片夾持器上包含夾持空隙,硅片可放置在夾持空隙中。

6.如權利要求1所述的一種硅片邊緣硅落磨削裝置,其特征在于,所述硅片夾持器包含一個以上。

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