技術總結
本實用新型涉及機械領域，尤其涉及一種硅片邊緣硅落磨削裝置。包含下方的動力空間和上方的旋轉空間，所述動力空間包含動力傳動結構，旋轉空間包含旋轉平臺，旋轉平臺上包含硅片夾持器，動力傳動結構包含電機及減速器，動力傳動結構的動力輸出軸為承載臺主軸，承載臺主軸上方為旋轉平臺。有益效果：通過電機驅動旋轉平臺旋轉，使硅片在承載臺表面研磨。承載臺旋轉過程中，砂漿泵將砂漿打入承載臺和硅片磨削位置，進行硅片硅落和毛邊的去除。

技術研發人員：王學軍
受保護的技術使用者：平涼中電科新能源技術有限公司
文檔號碼：201620882257
技術研發日：2016.08.16
技術公布日：2017.03.08