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一種用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置的制作方法

文檔序號(hào):11836579閱讀:來源:國(guó)知局

技術(shù)特征:

1.一種用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置,包括反應(yīng)釜本體、轉(zhuǎn)軸、生長(zhǎng)液盛放槽、攪拌裝置、底座、溫度感應(yīng)器,其特征在于,所述反應(yīng)釜本體的頂部設(shè)置有開口,并在開口上安裝有液封蓋,所述的轉(zhuǎn)軸貫穿過液封蓋設(shè)置于反應(yīng)釜本體內(nèi)部,并在轉(zhuǎn)軸前端設(shè)置設(shè)置有夾持件,所述的夾持件設(shè)置于生長(zhǎng)液盛放槽內(nèi)部,生長(zhǎng)液盛放槽通過若干支桿連接在反應(yīng)釜本體的內(nèi)壁,所述的反應(yīng)釜本體內(nèi)底部通過支撐座連接有攪拌裝置,所述的攪拌裝置上設(shè)置有加熱絲,在反應(yīng)釜本體外底部設(shè)置有底座,所述的反應(yīng)釜本體內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置有溫度感應(yīng)器。

2.如權(quán)利要求1所述的用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置,其特征在于,所述的反應(yīng)釜本體外底部設(shè)置有若干橫向的凸塊,所述的底座上設(shè)置有若干凹槽,所述的凸塊與凹槽相互卡合連接。

3.如權(quán)利要求1所述的用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置,其特征在于,所述的支桿與生長(zhǎng)液盛放槽螺栓連接。

4.如權(quán)利要求1所述的用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置,其特征在于,所述反應(yīng)釜本體的外側(cè)壁設(shè)置有控制開關(guān)。

5.如權(quán)利要求1所述的用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置,其特征在于,所述的夾持件與轉(zhuǎn)軸前端鉸接連接。

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