技術(shù)總結(jié)
本實用新型公開了一種用于IGBT碳化硅晶體管的制備裝置，所述反應(yīng)釜本體的頂部設(shè)置有開口，并在開口上安裝有液封蓋，所述的轉(zhuǎn)軸貫穿過液封蓋設(shè)置于反應(yīng)釜本體內(nèi)部，并在轉(zhuǎn)軸前端設(shè)置設(shè)置有夾持件，所述的夾持件設(shè)置于生長液盛放槽內(nèi)部，生長液盛放槽通過若干支桿連接在反應(yīng)釜本體的內(nèi)壁，所述的反應(yīng)釜本體內(nèi)底部通過支撐座連接有攪拌裝置，所述的攪拌裝置上設(shè)置有加熱絲，在反應(yīng)釜本體外底部設(shè)置有底座，所述的反應(yīng)釜本體內(nèi)腔內(nèi)設(shè)置有溫度感應(yīng)器。通過裝置上的設(shè)計大大提升了IGBT碳化硅晶體籽料在生長過程中，使得籽料生長均勻穩(wěn)定，整個裝置操作穩(wěn)定，使用方便，可被進(jìn)一步推廣應(yīng)用。

技術(shù)研發(fā)人員：張新峰
受保護(hù)的技術(shù)使用者：張新峰
文檔號碼：201620581900
技術(shù)研發(fā)日：2016.06.15
技術(shù)公布日：2016.11.30