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一種藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構的制作方法

文檔序號:11836576閱讀:來源:國知局

技術特征:

1.一種藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構,包括套筒(1),所述套筒(1)的下部設有用于卡接籽晶(2)的凹槽,所述籽晶(2)與套筒(1)相抵的上端面為光滑面,其特征在于:所述套筒(1)的上部設有至少一個與凹槽連通的負壓通孔(4),所述負壓通孔(4)的上端口外設有負壓吸附組件(5);所述負壓吸附組件(5)包括加熱套(501),所述加熱套(501)內裝設有受熱體積會變大的膨脹微球(502),所述加熱套(501)的底部設有與負壓通孔(4)所在區域面積配合的開口(503),側部設有單向氣閥(504),所述單向氣閥(504)只能由加熱套(501)內部向外部排出氣體。

2.根據權利要求1所述的一種藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構,其特征在于:所述套筒(1)的外側設有轉動套(3)。

3.根據權利要求1所述的一種藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構,其特征在于:所述負壓通孔(4)的直徑為1-3mm。

4.根據權利要求1所述的一種藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構,其特征在于:所述膨脹微球(501)的外殼是由丙烯睛共聚物支撐,內部填充有易氣化的液態碳氫化合物。

5.根據權利要求1-4任一項所述的一種藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構,其特征在于:所述套筒(1)為鉬筒。

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