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一種藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構的制作方法

文檔序號:11836576閱讀:來源:國知局
技術總結
本實用新型公開了一種藍寶石晶體生長裝置用籽晶夾持機構,包括套筒,套筒的下部設有用于卡接籽晶的凹槽,籽晶與套筒相抵的上端面為光滑面,套筒的上部設有至少一個與凹槽連通的負壓通孔,負壓通孔的上端口外設有負壓吸附組件;負壓吸附組件包括加熱套,加熱套內裝設有膨脹微球,加熱套的底部設有開口,側部設有單向氣閥,單向氣閥只能由加熱套內部向外部排出氣體。本實用新型結構簡單,利用負壓吸附組件對籽晶進行夾持,夾持效果安全可靠,無需在籽晶上開設凹槽,避免晶體后期因生長過重容易在缺口的地方斷裂情況的發生,保障了晶體生長的順利進行。

技術研發人員:張新峰
受保護的技術使用者:張新峰
文檔號碼:201620579822
技術研發日:2016.06.15
技術公布日:2016.11.30

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